通過多弧離子鍍沉積技術(shù)制備了TiN和TiVN涂層，對比了兩種涂層在不同工況下的摩擦磨損性能和切削性能，并指出影響刀具涂層服役性能的主要因素。結(jié)果表明，V元素摻雜有效提高了TiN涂層的硬度和結(jié)合力、減小了TiN涂層的摩擦因數(shù)和低溫下的磨損率，但V容易氧化的特性導(dǎo)致500℃及以上溫度TiVN涂層產(chǎn)生較高的磨損率。切削測試表明，在麻花鉆的主切削刃和橫刃區(qū)域兩種涂層發(fā)生明顯的剝落，而在后刀面涂層未發(fā)生明顯剝落，TiVN涂層較高的膜基結(jié)合強度和耐磨性能使得它對刀具的防護效果更佳；刀具涂層的服役性能與其耐磨性能和膜基結(jié)合強度有關(guān)，刀具的主切削刃和橫刃區(qū)域?qū)ν繉拥哪湍バ阅芎湍せY(jié)合強度有著苛刻的要求，且切削刃前列溫度較高，對涂層的高溫耐磨性能和膜基結(jié)合強度要求也高。氮化鈦具有金屬光澤，可作為仿真的金色裝飾材料，在代金裝飾行業(yè)中具有良好的應(yīng)用前景。重慶醫(yī)療器械氮化鈦加工中心

40、氮化鈦涂層所具有的硬度值在維氏硬度（HV）2500以上，在刀具上涂敷3~5微米的氮化鈦涂層，刀具就能擁有更高的耐磨性和耐熱性，大幅度提高刀具壽命和切削加工效率。例如，齒輪滾刀經(jīng)氮化鈦涂敷后壽命能延長3~4倍，因而可在切削齒輪時可提高切削速度，從而減少了加工時間和成本。氮化鈦的涂層沉積工藝為物物理相沉積（PVD），是在真空條件下將鈦蒸發(fā)，并與氮發(fā)生反應(yīng)在刀具表面形成一層非常硬的復(fù)合薄膜。這種加工過程較為重要的特征是在加工時溫度適合保持在350℃左右，因而高速鋼刀具的固有特性及尺寸都不會受到影響。氮化鈦涂層刀具由于其優(yōu)異性能，很快在工業(yè)發(fā)達國家得以推廣使用，并為機械加工行業(yè)帶來巨大的經(jīng)濟效益。日本是該領(lǐng)域的靠前者之一，許多日本的刀具公司都能供應(yīng)含有氮化鈦涂層的產(chǎn)品，其中有些賣給了歐洲部分國家和美國，多數(shù)進入了日本本國市場。我國對氮化鈦涂層刀具的使用起步較晚，但已有不少廠家開始推廣使用，經(jīng)濟效益極為可觀。溫州壓鑄模具氮化鈦服務(wù)電話TiN熔點比大多數(shù)過渡金屬氮化物的熔點高，而密度卻比大多數(shù)金屬氨化物低，因此是一種很有特色的耐熱材料。

氮化鈦是一種新型多功能陶瓷材料。在TiC-Mo-Ni系列金屬陶瓷中添加一定量的氮化鈦，硬質(zhì)相晶粒明顯細化，陶瓷的理學(xué)性能無論在室溫還是高溫條件下均得到大幅改善，然后金屬陶瓷的高溫耐腐蝕性和抗氧化性大幅提高;通過以一定比例向陶瓷中添加TiN粉末，可以提高陶瓷的強度、韌性、硬度;將納米氮化鈦添加到TiN/Al2O3復(fù)相納米陶瓷中，通過機械混合法等各種方法均勻混合，在得到的含有納米氮化鈦粒子的陶瓷材料內(nèi)部形成導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)。這種材料可以作為電子部件應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。

在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進行改進，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化學(xué)氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析，從厚度、雜質(zhì)濃度和晶體結(jié)構(gòu)三大薄膜電阻影響因素出發(fā)系統(tǒng)研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結(jié)構(gòu)中的各種性質(zhì)，重點是等離子體處理(PlasmaTreatment，PT)下的晶體生長，制備循環(huán)次數(shù)的選擇對薄膜雜質(zhì)濃度、晶體結(jié)構(gòu)及電阻性能的影響，不同工藝薄膜在真實結(jié)構(gòu)中物理形貌、晶體結(jié)構(gòu)和電阻性能的表現(xiàn)和規(guī)律，超薄TiN薄膜(＜5nm)的實際應(yīng)用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質(zhì)濃度降低，同時晶體生長，薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度，較厚薄膜需多循環(huán)制備以充分處理，發(fā)現(xiàn)薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm)，增加循環(huán)次數(shù)雖然進一步降低了雜質(zhì)濃度，但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發(fā)現(xiàn)由于等離子體運動的各向異性，真實結(jié)構(gòu)中PT效率在側(cè)壁遠低于頂部和底部，這導(dǎo)致側(cè)壁薄膜在PT后更厚。DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm。

明顯早應(yīng)用的刀具PVD涂層材料是TiN，是將靶材（金屬固體材料）轉(zhuǎn)換成電離狀態(tài)，在電場作用下金屬離子在工件表面與活化了的氮形成2～4μm厚的薄膜涂層，具有較高的硬度和耐磨性，抗氧化溫度在550～600℃；而進入本世紀后，使用具有一定原子比的鈦鋁合金靶作為靶材，通過磁控濺射法制得的TiAlN涂層正逐漸代替TiN涂層成為主流涂層，其最高工作溫度可達1150℃，更好得滿足這種高速高溫切削的需要。其實質(zhì)是在切削刀具的表面沉積一層具有致密結(jié)構(gòu)、高硬度、熱穩(wěn)定性、耐磨性和抗氧化性良好的硬質(zhì)薄膜。氮化鈦作為涂層價格既低廉又耐磨耐腐蝕，它的好多性能都優(yōu)于真空涂層氮化鈦的應(yīng)用前景非常廣闊。青島潤滑氮化鈦功能

氮化鈦相當(dāng)穩(wěn)定，高溫下不與鐵、鉻、鈣和鎂等金屬反應(yīng)，TiN坩堝在CO與N2氣氛下也不與酸性渣堿性渣起作用。重慶醫(yī)療器械氮化鈦加工中心

46.氮化鈦具有熔點高、化學(xué)穩(wěn)定性好、硬度大、導(dǎo)電、導(dǎo)熱和光性能好等良好的理化性質(zhì)，在各領(lǐng)域具有十分重要的用途，特別是在新型金屬陶瓷領(lǐng)域和黃金裝飾領(lǐng)域。對氮化鈦粉末的工業(yè)需求越來越高，氮化鈦作為涂層價格低廉、耐磨性好，性能比真空涂層好很多，氮化鈦的應(yīng)用前景非常廣闊。主要適用于以下領(lǐng)域：1)氮化鈦生物相容性強，可應(yīng)用于臨床醫(yī)學(xué)和口腔醫(yī)學(xué)。2)氮化鈦摩擦系數(shù)低，可用作高溫潤滑劑。3)氮化鈦具有金屬光澤，作為模擬金色裝飾材料，在黃金裝飾行業(yè)具有良好應(yīng)用前景的氮化鈦也可以作為金色涂料應(yīng)用于珠寶行業(yè);作為替代WC的潛在材料，可以明顯降低材料的應(yīng)用成本。4)可用于研制具有強硬度和耐磨性，比普通硬質(zhì)合金工具耐久性和壽命顯著提高的新型工具。重慶醫(yī)療器械氮化鈦加工中心