潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室檢測(cè)不僅是當(dāng)前生產(chǎn)的需要，也是對(duì)未來(lái)產(chǎn)品質(zhì)量的投資。山東排風(fēng)柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式?？諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高?？諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的，而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示，也就是把從某一個(gè)低的含塵濃度起到不超過(guò)另一個(gè)高的含塵濃度指這一個(gè)含塵濃度范圍為某一個(gè)空氣潔凈度級(jí)別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。湖北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)哪家好空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的，而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示。

壓差檢測(cè)要求：(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門(mén)全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可，測(cè)管口面與氣流流線平行。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測(cè)步驟：(1)先關(guān)閉所有的門(mén)。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí)，門(mén)內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。

2、溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定，通常分為兩個(gè)檔次：一般測(cè)試和綜合測(cè)試。***個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試，第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn)，各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。3、壓差這項(xiàng)檢測(cè)的目的是驗(yàn)證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項(xiàng)檢測(cè)適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)。壓差的測(cè)試應(yīng)在所有的門(mén)都關(guān)閉的條件下，由高壓向低壓、由平面布置上與外界**遠(yuǎn)的里間房間開(kāi)始，依次向外測(cè)試;有孔洞相通的不同等級(jí)相鄰的潔凈室(區(qū))，其洞口處宜有合理的氣流流向等等。對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。

（三）空氣過(guò)濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器塵埃粒子計(jì)數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)，并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏，亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室，只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別，就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率，對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格率的2倍，對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍。5、操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器，應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量**小為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。山東電子廠房環(huán)境檢測(cè)

潔凈室檢測(cè)過(guò)程中，應(yīng)注重節(jié)能降耗，實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)。山東排風(fēng)柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

1、儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器塵埃粒子計(jì)數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)，并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏，亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室，只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別，就可以不進(jìn)行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件：由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率，對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格率的2倍，對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍。4、操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。山東排風(fēng)柜檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)