10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測技術(shù)好

E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進行，有排風(fēng)時，應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應(yīng)測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進行，有排風(fēng)時，應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應(yīng)測定開口處的流速和流向。安徽氣流無塵室檢測目的無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。

6.3.1管道安裝前應(yīng)進行以下準(zhǔn)備工作：1配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。浙江排風(fēng)柜無塵室檢測規(guī)范性強

空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制?？梢允情_放式或封閉式。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測技術(shù)好

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制。控制設(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災(zāi)報警應(yīng)進行核實，當(dāng)確認(rèn)火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對下列各項進行手動控制：1關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機、排風(fēng)機和新風(fēng)機，并接收其反饋信號；2啟動排煙風(fēng)機，并接收其反饋信號；3.在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測技術(shù)好