C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認可,在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并;過濾系統(tǒng)檢漏費時、費人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度,而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,2種方法獲得的結(jié)果不能進行直接比較。潔凈室絕不僅于“潔凈”,而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。排風柜潔凈室檢測哪家好
7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵,對給水系統(tǒng)要求較為嚴格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格,因此應根據(jù)不同的要求設置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術發(fā)展迅速的工業(yè),如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快,生產(chǎn)工藝變化多。因此,在管道設計中應留有充分的余量。浙江無塵室3Q驗證潔凈室檢測服務潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施。
6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造,應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房,技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時,宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室(區(qū))的綜合性廠房,廠房的平面布局和構造處理,宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。
空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量;3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段;4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近;6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置;8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求:1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;2應按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風量應能調(diào)節(jié);5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應滿足檢修要求。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。
1管道連接應采用焊接,熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊,以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定:1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設計工況選擇,宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定,宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料,并應平整、光潔,宜采用金屬外殼保護。中效或高中效空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段。安徽照度潔凈室檢測分析
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa。排風柜潔凈室檢測哪家好
1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風,實際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層,在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層,實際上,下技術夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。排風柜潔凈室檢測哪家好