5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn);微型計算機(jī)的迅速發(fā)...
11. 4.1 生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管,應(yīng)同時安裝完畢。11.4.2當(dāng)多臺生物安全柜的排風(fēng)支管與豎井內(nèi)封閉的排風(fēng)立管相連接時,支管應(yīng)采用防回流裝置,并應(yīng)從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后,連接排風(fēng)管道之前,應(yīng)對高效過濾器...
近年來,國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生,造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失,其原因不是主電源斷電,而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計中也很重要。從工藝性質(zhì)來看,潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作,需要高...
7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定;2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定;3冷凍水進(jìn)水溫度,宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的**溫度;4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6...
6.3.1管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作:1配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具,不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割,不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直,切口表面應(yīng)平整、無裂紋,應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時,宜用成品連接件。4普通...
E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進(jìn)行,凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,有無障礙,所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,且必須實際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速...
B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),而單向流系統(tǒng)...
11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時,現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上;現(xiàn)場除正常照明外,應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安...
10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間...
6.2.1氣體系統(tǒng)管道材質(zhì)及附件,應(yīng)按設(shè)計要求選配,如設(shè)計未作明確要求,選用時應(yīng)與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質(zhì)相適應(yīng),并應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)使用無縫管材。2管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用小。3管材內(nèi)表面應(yīng)光滑、耐磨損。4應(yīng)具有良好的抗腐蝕性能。5管材金屬組織...
11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時,現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上;現(xiàn)場除正常照明外,應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安...
9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇,應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求,并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓...
12.4.2消防應(yīng)急照明燈(以下簡稱照明燈)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1當(dāng)照明燈安裝在墻上時,照明燈光線不應(yīng)正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上,或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊,四周應(yīng)密封。3疏散走道上安裝的照明燈應(yīng)...
12.4.2消防應(yīng)急照明燈(以下簡稱照明燈)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1當(dāng)照明燈安裝在墻上時,照明燈光線不應(yīng)正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上,或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊,四周應(yīng)密封。3疏散走道上安裝的照明燈應(yīng)...
7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時間不同;...
無塵室凈化車間管理規(guī)范1、進(jìn)入潔凈室的管理,包括對潔凈室工作人員進(jìn)入,物料進(jìn)入,各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備,管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒,微生物帶人潔凈室2、操作管理技術(shù),對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作,穿著和其清洗,操作人員的移動和動作,室內(nèi)設(shè)備及裝修...
6.2.3潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分,應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū)),在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后,...
D.3.10自凈時間檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測,同時應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準(zhǔn)時,則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間,在室內(nèi)含塵濃度已接...
12.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測,宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū)...
E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求:1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前,空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計;濕度的檢測可采用通風(fēng)式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度...
從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行,滿足必要的談話聯(lián)系,提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍,醫(yī)療行業(yè)則...
3.2.1裝配式混凝土結(jié)構(gòu)的潔凈室,應(yīng)在預(yù)制構(gòu)件上按設(shè)計圖紙預(yù)留孔、洞。3.2.2有耐壓、防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應(yīng)按設(shè)計要求采用抗?jié)B混凝土,并應(yīng)制定配合比操作程序,按相關(guān)要求先做試塊的抗?jié)B試驗,澆筑后應(yīng)分層搗實,加強(qiáng)養(yǎng)護(hù)管理。3.2.3潔凈區(qū)內(nèi)的現(xiàn)澆混凝...
2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測,宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))...
9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,這就要求在達(dá)到同一照度值情況下,安裝燈具的個數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,而且發(fā)熱量小,有利于空調(diào)節(jié)能。此外,潔凈室天然采光少,在選用光源時還需考慮它...
6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修...
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍...
4.1.2潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離(相鄰側(cè)邊沿)宜大于50m。當(dāng)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時,可根據(jù)具體條件適當(dāng)減少,但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影...
7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,對給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴(yán)格,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重...
4.1.1潔凈廠房位置的選擇,應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定:1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾...
7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,對給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴(yán)格,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重...