本發(fā)明涉及一種半導體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術(shù): 在半導體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...
深圳市德澳美精密制造有限公司是一家專業(yè)從事耐磨陶瓷涂料技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn),以及各 類抗磨損技術(shù)施工服務的高新科技型企業(yè)。公司坐落于原材料豐富,信息靈通。我公司經(jīng)過不 斷努力學習、實踐總結(jié),積極研究耐磨防腐施工技術(shù),敢打敢拼,能夠急客戶之所急, 為企業(yè)解決設(shè)備防...
微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分,開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用,而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...
離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發(fā)地進行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機物包圍在片層當中,經(jīng)高溫燒結(jié)除去有機物,...
耐磨陶瓷,選用進口氧化鋁作原料以稀有金屬氧化物為熔劑,經(jīng)1700度高溫燒結(jié)而成。具有密度大、硬度高、耐磨損、表面光滑等特點。耐磨性能相當于錳鋼的266倍,高鉻鑄鐵的171倍。經(jīng)廣泛應用深受廣大用戶好評。耐磨陶瓷應用于礦山選礦部位:一. 選礦廠閉路磨礦循環(huán)的檢查...
離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發(fā)地進行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機物包圍在片層當中,經(jīng)高溫燒結(jié)除去有機物,...
場景是新技術(shù)應用中的重要一環(huán),場景越多意味著應用的廣大性和未來的期望空間越大,而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應用場景,即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。 機械手臂的應用場景有哪些呢?它的應用特點十分明顯,主要代替人工從...
半導體晶圓有時在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導體晶圓。若高溫的半導體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此,與配置...
陶瓷耐磨彎頭性能: 1、由于陶瓷耐磨彎頭內(nèi)表面光滑、且**銹蝕,也不象無縫鋼管內(nèi)表面有凸狀螺旋線存在。經(jīng)有關(guān)檢測單位對內(nèi)表面粗糙度,及清水阻力特性測試,其內(nèi)表面光滑度優(yōu)于任何金屬管道,清阻力系數(shù)為0.0193,比無縫管稍低。因此該管具有運行阻力小等特點,可減少...
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場在抄底盤和北上資金的推動下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動下市場繼續(xù)震蕩走高,**終兩市**以中陽報收。 昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢...
耐磨陶瓷彎頭耐磨耗性好,不容易被腐蝕,不容易結(jié)垢(屬于化學遺留物),銷售(sales)的價格(price)也很容易讓人們接受,采用儲能焊接工藝將帶錐形孔的陶瓷片通過**耐磨螺栓焊接在鋼體上面。采用的工藝一:直接用耐熱鋼碗將具備含扣錐形孔的陶瓷片直接...
耐磨膠泥的應用具有重要的工程意義。磨損本身非常復雜,存在多種磨損類型,而且隨著工況,諸如載荷、速度、溫度、介質(zhì)條件(有無潤滑〉,摩擦表面的性質(zhì)等的變化,都會使磨損類型發(fā)生改變,從而影響磨損的特征與機制。本文相關(guān)詞條解釋耐磨耐磨材料種類繁多,用途**...
精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨特的優(yōu)勢。以下是其中的三個主要方面:1.高耐久性:精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因為陶瓷材料的硬度高,化學穩(wěn)定性好,抗腐蝕性能強。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能:精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...
氧化鋁耐磨陶瓷襯片是以Al2O3為主要原料,以稀有金屬氧化物為熔劑,經(jīng)一千七百度高溫焙燒而成的特種剛玉陶瓷。 Al2O3陶瓷襯片:氧化鋁含量高,結(jié)構(gòu)比較致密,具有特殊的性能,故稱為特種陶瓷。Al2O3陶瓷材料是以氧離子構(gòu)成的密排六方結(jié)構(gòu),而鋁離子填充于三分之二...
深圳市德澳美精密制造有限公司是生產(chǎn)耐磨陶瓷涂料、防磨膠泥、耐磨膠泥、陶瓷耐磨澆注料、氧化鋁陶瓷片、耐磨陶瓷涂層等產(chǎn)品專業(yè)生產(chǎn)加工的公司,擁有完整、科學的質(zhì)量管理體系。多年來以誠信、實力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認可。我公司一直致力于打造品牌形象,建立自身完整的**競...
耐磨陶瓷片具有耐磨損失小,強度高、形狀可控制、整體性強、施工簡單、施工性能好,對于有耐磨要求的施工部位起到了很好的保護作用。隨著水泥工業(yè)新型干法生產(chǎn),設(shè)備大型化的發(fā)展,對耐磨陶瓷片提出了新的要求。設(shè)備大型化引進的新設(shè)備需要內(nèi)在質(zhì)量好、使用可靠,外觀質(zhì)量優(yōu)良的耐...
半導體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上...
研究背景近年來,隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,應用高速度、高精度、 高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應的增加,使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務執(zhí)行的精度降低。所以,機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,實現(xiàn)柔性機械臂高精度...
耐磨膠泥使用方法:主要分以下四個驟:1、表面處理:針對缺點工件需要部位進行粗糙化處理,可選擇用角磨機打磨或噴砂等方式進行表面粗化;然后對打磨后粗化的表面進行清洗處理,可用**或乙酸乙酯等試劑進行清洗;被處理后的部位表面應確保是干燥新鮮的基材表面,并...
半導體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件,被整整齊齊的安放在...
中國擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機器人市場,有著1000多家與工業(yè)機器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機械臂制造領(lǐng)域處于大而不強的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低?,F(xiàn)在國內(nèi)很多機器人企業(yè)有很多都不是在真心實意地在做技術(shù),很多都是跟著...
耐磨陶瓷彎頭耐磨耗性好,不容易被腐蝕,不容易結(jié)垢(屬于化學遺留物),銷售(sales)的價格(price)也很容易讓人們接受,采用儲能焊接工藝將帶錐形孔的陶瓷片通過**耐磨螺栓焊接在鋼體上面。采用的工藝一:直接用耐熱鋼碗將具備含扣錐形孔的陶瓷片直接...
***,氧化鋯陶瓷能夠直接燒成的平面度是非常好的,所以很多后膜集成電路,制冷器以及臭氧發(fā)生器等都是由氧化鋯陶瓷加工而成的,可以說這種陶瓷材質(zhì)制作而成的產(chǎn)品比其他材質(zhì)更具優(yōu)勢。第二,采用注射成型技術(shù),通過良好的收縮比控制,再加上后期的加工,氧化鋯陶瓷...
隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,應用高速度、高精度、高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應的增加,使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務執(zhí)行的精度降低。所以,機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須...
有用于輸送半導體晶圓的機械手。具體地,該機械手將半導體晶圓插入到處理室(process chamber),或者將半導體晶圓從處理室中取出。傳送室(transfer chamber)連結(jié)于處理室。機械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機械手使半導體晶圓在傳送室與處理室之間...
中國擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機器人市場,有著1000多家與工業(yè)機器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機械臂制造領(lǐng)域處于大而不強的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低?,F(xiàn)在國內(nèi)很多機器人企業(yè)有很多都不是在真心實意地在做技術(shù),很多都是跟著...
工程陶瓷材料的廠家,因為這種陶瓷材料硬度更高,耐磨性也更好氧化鋯陶瓷目前已經(jīng)有了非常***的應用,而且市場需求量也在日益增加,所以現(xiàn)在氧化鋯陶瓷廠家也越來越多,那么應該如何選擇氧化鋯陶瓷生產(chǎn)廠家呢?下面就來為大家進行分析。工程陶瓷材料的廠家,因為這...
整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制。2臺直驅(qū)電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制,1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求...
2、工藝要精湛 只有現(xiàn)成的設(shè)備還不足以***保證氧化鋯陶瓷的產(chǎn)品質(zhì)量,還應該擁有配套的生產(chǎn)工藝,所以氧化鋯陶瓷生產(chǎn)工藝是否精湛就是企業(yè)選擇生產(chǎn)廠家時需要注意的另一個重點。只有工藝好,才能讓生產(chǎn)出來的產(chǎn)品在耐磨、耐腐蝕、耐高溫、耐酸堿度等方面表現(xiàn)更好,...
有用于輸送半導體晶圓的機械手。具體地,該機械手將半導體晶圓插入到處理室(process chamber),或者將半導體晶圓從處理室中取出。傳送室(transfer chamber)連結(jié)于處理室。機械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機械手使半導體晶圓在傳送室與處理室之間...