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來源: 發(fā)布時間:2023-09-08

割拋光:

單晶棒將按適當的尺寸進行切割,然后進行研磨,將凹凸的切痕磨掉,再用化學機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,晶圓片制造就完成了。

二,晶圓制造步驟

晶圓鍍膜:

通過物理或其他方式(如高溫等)使晶圓上產生一層二氧化硅。二氧化硅為絕緣材料,但有雜質和特殊處理的二氧化硅有一定的導電性。二氧化硅在這里的作用是為了傳導光。像是用二氧化硅做光導纖維是同一個道理。完成這步后就為后面光刻做好了準備。

光刻膠涂抹:

顧名思義,就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠,而對其技術要求是要做到平整和薄。 手臂回轉升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉的。韶關官方晶圓運送機械吸臂哪里好

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與傳統(tǒng)的SCARA型搬運機械手相比,蛙腿型機械手的傳動機構更簡單,剛性更高,且工作效率更高。如上圖所示,蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯結構,包括1對大臂和2對小臂。2個直驅電機分別通過2個同軸的旋轉軸連接大臂,大臂末端通過4個旋轉軸連接尺寸相同的2對小臂,2對小臂的末端又通過2個旋轉軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機,但水平連桿卻有10個旋轉關節(jié),因此對整個真空機械手建立旋轉關節(jié)坐標與末端晶圓托盤坐標之間的函數關系是一個復雜的過程東莞本地晶圓運送機械吸臂價位柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統(tǒng),其動力學方程具有非線性、強耦合、實變等特點。

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電鍍:

到這一步,晶圓基本上就完成了,現在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會從正極走向負極。

拋光:

然后將Wafer進行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。

切割:

對晶圓進行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對切割的工藝要求也是非常高的。

測試:

測試分為三大類:功能測試、性能測試、抗老化測試。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、動態(tài)參數測試、模擬信號參數測試等等。全部測試都通過的,就是正片;部分測試未通過,但正常使用無礙,這是白片;未開始測試,就發(fā)現晶圓具有瑕疵的,這是黑片。


半導體晶圓有時在處理室內暴露在高溫中。因此,機械手有時輸送高溫的半導體晶圓。若高溫的半導體晶圓與手部接觸,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關節(jié)的溫度也上升。由此,安裝于關節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進該軸承內的潤滑劑的劣化。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關節(jié)的軸承相比,配置在前臂連桿和手部之間的關節(jié)的軸承的維護頻率較高。

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產品。

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,**化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99.9%。 手臂上的零部件,如油缸、導向桿、控制件等都安裝在手臂上。

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工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進行移動,從而完成某一工業(yè)生產的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊;搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件;進行激光切割;噴涂;裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣,特別是工業(yè)機械臂,與人的外貌往往毫無相似之處。根據國家標準,工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復編程、多用途,并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。機械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。東莞本地晶圓運送機械吸臂企業(yè)

機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮。韶關官方晶圓運送機械吸臂哪里好

進行光刻:

將設計好的電路掩模,置于光刻機的紫外射線下,然后再在它的下面放置Wafer,這一刻,Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,刻上了電路圖。然后將光刻膠去除,光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新,極紫光刻出現了,現階段光刻的效率變得比以前更高,甚至于可以達到光刻一次完成。

注射:

在真空下,將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 韶關官方晶圓運送機械吸臂哪里好

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